超純水顆粒監測-上海翰森科學儀器有限公司

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超純水顆粒計數器

超純水（UPW）設施以及水清洗系統的顆粒監視和控制, 對越來越多類型的制造工業愈來愈重要. 例如,諸如平板顯示器（FPD）和硬盤驅動器（HDD）部件的精密制造技術的改進要求能測出過程液體中小到0.1μm的污染物顆粒。

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